Карманхагийн толин тусгал эсвэл нийт тусгалыг лазерын хөндийд, толин тусгал болгон ашигладаг.
Цахиур нь хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг толин тусгалын субстрат юм; Үүний давуу тал нь зардал багатай, сайн тэсвэртэй, тэсвэр тэвчээр, дулааны тогтвортой байдал.
Молибден толь нь маш хатуу гадаргуу нь маш их хатуу гадаргууг хамгийн их шаарддаг. MO Толин тусгал нь ихэвчлэн хяналтгүй байдаг.
| Анилга | Ж төсв |
| Хэмжээст хүлцэс | +0.000 "/ -0.005" |
| Зузаан тэсвэр тэвчээр | ± 0.010 " |
| Параллелизм: (Plano) | ≤ 3 ARC минут |
| Тодорхой нүх (өнгөлсөн) | Диаметрийн 90% |
| @ 0.63um | Эрчим хүч: 2 хүрээ, жигд бус байдал: 1 хүрээ |
| Зураас | 10-5 |
| Бүтээгдэхүүний нэр | Диаметр (мм) | Et (мм) | Гадар будаг |
| Мо толин тусгал | 30 | 3/6 | Roate, AOI: 45 ° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| Цахиурын толь | 30 | 3/4 | HR @ 106um, AOI: 45 ° |
| 38.1.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
