Carmanhaas толь буюу нийт тусгал нь лазерын хөндийд арын тусгал, нугалах толь болгон, гадна талаас нь цацраг дамжуулах системд цацраг гулзайлгагч болгон ашигладаг.
Цахиур нь хамгийн өргөн хэрэглэгддэг толин тусгал субстрат юм; түүний давуу тал нь хямд өртөгтэй, удаан эдэлгээтэй, дулааны тогтвортой байдал юм.
Молибдений толин тусгал нь маш хатуу гадаргуутай тул хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй физик орчинд тохиромжтой. Мо толин тусгалыг ихэвчлэн өнгөлгөөгүй санал болгодог.
| Үзүүлэлтүүд | Стандартууд |
| Хэмжээст хүлцэл | +0.000” / -0.005” |
| Зузаан хүлцэл | ±0.010” |
| Зэрэгцээ байдал: (Плано) | ≤ 3 нуман минут |
| Цэвэр диафрагм (өнгөлсөн) | 90% диаметртэй |
| Гадаргуугийн зураг @ 0.63um | Эрчим хүч: 2 зах, жигд бус байдал: 1 зах |
| Scratch-Dig | 10-5 |
| Бүтээгдэхүүний нэр | Диаметр (мм) | ET (мм) | Бүрэх |
| Мо толь | 30 | 3/6 | Бүрээсгүй, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| Цахиур толь | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
