Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн хэмжээ багасаж, нарийн төвөгтэй байдал нэмэгдсээр байгаа тул илүү цэвэр, илүү нарийвчлалтай савлах процессын эрэлт урьд өмнө байгаагүй өндөр байна. Энэ салбарт хурдацтай хөгжиж буй нэг шинэлэг зүйл бол хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл гэх мэт эмзэг орчинд тохирсон контактгүй, өндөр нарийвчлалтай шийдэл болох лазер цэвэрлэх систем юм.
Гэхдээ хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын салбарт лазер цэвэрлэгээг яг юу хамгийн тохиромжтой болгодог вэ? Энэхүү нийтлэл нь түүний үндсэн хэрэглээ, ашиг тус, яагаад энэ нь дэвшилтэт микроэлектроникийн чухал үйл явц болж байгааг судлах болно.
Хэт мэдрэмтгий орчинд зориулсан нарийн цэвэрлэгээ
Хагас дамжуулагч сав баглаа боодол нь исэл, наалдамхай бодис, урсгалын үлдэгдэл, бичил тоос зэрэг бохирдлоос ангид байх ёстой субстрат, тугалган хүрээ, хэв, холбох дэвсгэр, бичил холболт зэрэг олон нарийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг агуулдаг. Химийн болон сийвэн дээр суурилсан арчилгаа гэх мэт уламжлалт цэвэрлэгээний аргууд нь ихэвчлэн үлдэгдэл үлдээдэг эсвэл зардал, байгаль орчны асуудалд нэмэлт зардал шаарддаг.
Энд лазераар цэвэрлэх систем хамгийн сайн ажилладаг. Төвлөрсөн лазер импульсийг ашиглан гадаргуу дээрх хүсээгүй давхаргыг үндсэн материалд хүрч, гэмтээлгүй арилгадаг. Үр дүн нь цэвэр, үлдэгдэлгүй гадаргуу бөгөөд наалдацын чанар, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Хагас дамжуулагч савлагааны гол хэрэглээ
Лазер цэвэрлэх системийг одоо хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын олон үе шатанд өргөнөөр ашиглаж байна. Хамгийн алдартай програмуудын зарим нь:
Урьдчилан наалдсан дэвсгэр цэвэрлэх: Утасны наалдсан дэвсгэрээс исэл ба органик бодисыг зайлуулж оновчтой наалдацыг хангана.
Хар тугалганы хүрээ цэвэрлэх: Бохирдуулагчийг цэвэрлэх замаар гагнуурын болон хэвний чанарыг сайжруулна.
Субстрат бэлтгэх: Хавсаргасан материалын наалдацыг сайжруулахын тулд гадаргуугийн хальс эсвэл үлдэгдлийг арилгах.
Мөөгөнцөр цэвэрлэх: Хэвлэх хэрэгслийн нарийвчлалыг хадгалах, дамжуулах хэвлэх процессын зогсолтыг багасгах.
Эдгээр бүх хувилбаруудад лазер цэвэрлэх процесс нь процессын тууштай байдал болон төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг хоёуланг нь сайжруулдаг.
Микроэлектроникт чухал ач холбогдолтой давуу талууд
Яагаад үйлдвэрлэгчид уламжлалт аргуудаас илүү лазер цэвэрлэх систем рүү шилжиж байна вэ? Давуу талууд нь тодорхой байна:
1. Холбоо барихгүй, гэмтэлгүй
Лазер нь материалд бие махбодийн хувьд хүрч чаддаггүй тул механик ачаалал тэг байдаггүй - эмзэг бичил бүтэцтэй ажиллахад зайлшгүй шаардлагатай байдаг.
2. Сонгомол, нарийн
Металл эсвэл эмзэг гадаргууг хадгалахын зэрэгцээ тодорхой давхаргыг (жишээлбэл, органик бохирдуулагч, исэл) арилгахын тулд лазерын параметрүүдийг нарийн тохируулж болно. Энэ нь лазер цэвэрлэгээг нарийн төвөгтэй олон давхаргат бүтцэд тохиромжтой болгодог.
3. Химийн бодис, хэрэглээний материалгүй
Нойтон цэвэрлэгээ эсвэл плазмын процессоос ялгаатай нь лазер цэвэрлэгээ нь химийн бодис, хий, ус шаарддаггүй бөгөөд энэ нь байгальд ээлтэй, хэмнэлттэй шийдэл юм.
4. Өндөр давтагдах чадвартай, автоматжуулсан
Орчин үеийн лазер цэвэрлэх системүүд нь хагас дамжуулагч автоматжуулалтын шугамтай амархан нэгтгэгддэг. Энэ нь дахин давтагдах боломжтой, бодит цагийн цэвэрлэгээ хийх, ургацыг сайжруулах, гар хөдөлмөрийг багасгах боломжийг олгодог.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн найдвартай байдал, гарцыг нэмэгдүүлэх
Хагас дамжуулагч сав баглаа боодолд хамгийн бага бохирдол нь холболтын эвдрэл, богино холболт эсвэл төхөөрөмжийн урт хугацааны эвдрэлд хүргэдэг. Лазер цэвэрлэгээ нь харилцан холболт эсвэл битүүмжлэх үйл явцад оролцож буй гадаргуу бүрийг сайтар, тогтмол цэвэрлэж байх замаар эдгээр эрсдлийг багасгадаг.
Үүнийг шууд орчуулна:
Цахилгааны гүйцэтгэл сайжирсан
Гадаргуугийн илүү бат бөх холбоо
Төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгана
Үйлдвэрлэлийн доголдол, дахин боловсруулалтын хэмжээг бууруулсан
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь жижигрүүлэх, нарийвчлалын хязгаарыг давж байгаа тул уламжлалт цэвэрлэгээний аргууд хурдацтай ажиллахын тулд тэмцэж байгаа нь тодорхой юм. Лазер цэвэрлэх систем нь салбарын хатуу цэвэр байдал, нарийвчлал, байгаль орчны стандартыг хангасан шинэ үеийн шийдэл гэдгээрээ ялгардаг.
Хагас дамжуулагч сав баглаа боодолдоо лазер цэвэрлэх дэвшилтэт технологийг нэгтгэхийг хүсч байна уу? Холбоо барихКарман ХаасӨнөөдөр манай шийдлүүд ургацыг сайжруулах, бохирдлыг бууруулах, үйлдвэрлэлээ ирээдүйд найдвартай болгоход хэрхэн тусалж болохыг олж мэдье.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 23-ны хооронд